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CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6 英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性。可用于晶圓測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

名稱:CGO高低溫真空探針臺
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CGO系列高低溫真空

探針臺

 

高低溫真空探針臺.png

 產品介紹

高低溫真空探針臺.png

 1.1 功能介紹

 

CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6 英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性。可用于晶圓測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

 

1.2 技術參數

 

型號

基本參數

CGO-2CGO-4CGO-6
腔體樣品臺尺寸

2英寸

4英寸

6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸

4英寸

6英寸

真空度

10-5torr

探針臂接口

最多4個探針臂接口

最多6個探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

溫控系統

制冷方式

液氮/液氣/制冷機

溫度范圍

77K  573K/4.5K  573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩定性

±1K/±0.1K/±0.01K

顯微鏡

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

探針臂

X-Y-Z移動行程

50mm*50mm*50mm

結構

外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度

10微米/I微米

探針夾具

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

探針

頻率支持

DC-110GHz

針尖直徑

0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

材質

鎢鋼/鈹銅

真空組件

分子泵組/機械泵/離子泵

冷源組件

50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷機

外形

880mm *880mm *600mm 

980mm *980mm *600mm 

重量

100千克

120千克

可選附件

超高溫配件

屏蔽箱

高壓測試配件

顯示器

光學平臺

分子泵組

轉接頭

鍍金卡盤

激光系統

射頻測試配件

光電測試配件

氣敏測試配件

根據客戶要求定制



應用案例:


北京師范大學CGO探針臺.png華為OCG高低溫探針臺.png南科大CGO高低溫真空探針臺.png
中國石油大學CGO高低溫真空探針臺.png西南交通大學OCG高低溫真空探針臺.png南方科技大學OCG高低溫真空探針臺.png
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